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  • 反射式數字全息顯微鏡(DHM-R)
  • 反射式數字全息顯微鏡(DHM-R)
反射式數字全息顯微鏡(DHM-R) 反射式數字全息顯微鏡(DHM-R)

反射式數字全息顯微鏡(DHM-R)

反射式數字全息顯微鏡(DHM-R),非掃描非接觸無損測量,顯示靜態和動態三維形貌,表征周期振動。


無與倫比的速度,獨具創新的技術
超高速記錄動態三維形貌
DHM采用非掃描機制,采集單幀圖像既能記錄樣品表面三維形貌,因此擁有其他技術無法匹敵的圖像采集速度。使用標準相機采集速度為視頻速率30幀/秒,而高速相機可以達到1000幀/秒,使得以下應用變為可能:
研究可形變樣品三維動態響應
表面大區域掃描分析
高產量常規檢測
生產線在線三維形貌捕捉
MEMS測振分析,最高可達25 MHz頻閃模塊(可選配件)可同步DHM® 測量時激光脈沖與 MEMS器件的激勵信號,獲取振動周期內的全視場振動模態。 這些特有的分析數據可提供以下信息:
三維形貌時序圖
頻率共振分析和響應分析
面內面外振幅分析(面內振幅測量精度1nm,面外振幅測量精度5pm)
復雜運動表征,振動模態表征,樣品動態三維形貌
多種可控環境下測量
獨特的光學原理和光路設計使得DHM® 能夠滿足使用者在各種環境下的測量需求,提供靈活和便利的測量體驗:
透過玻璃(蓋玻片、載玻片、玻璃窗口)或者浸潤液
觀測環境控制箱或真空腔內部樣品,可改變環境參數,比如溫度、濕度、氣壓、氣體成分等
測量透明樣品三維形貌
得益于DHM® 多激光源配置,通過專用反射分析軟件(可選配件)可以表征透明薄膜樣品,包括:
透明結構表面形貌
多層透明薄膜組成結構的厚度、折射率,測量范圍可從10納米至幾十微米柔性材料或是液體的形貌


數字全息顯微鏡DHM是Lyncee Tec公司的專利技術。其工作原理為:全息圖由參考光束和經被測物體表面反射的物光光束相互干涉形成,攜帶有被觀測物體的波前信息,由數碼相機捕捉,再通過計算機對所記錄的全息圖進行數值重建來得到被測物體的相位和振幅(光強)信息,進完成被測物體的數值三維重建。
數字全息顯微鏡DHM的縱向精度是由激光的本征波長來校準的,因此提供了激光干涉級別的高精度和高可重復性的量測數據。縱向分辨率達到了亞納米,橫向分辨率則由所選物鏡決定。
另外得益于對所記錄全息圖的先進數字重建運算,DHM® 可數值選取所需聚焦的像面(數字自動聚焦)。這一功能也允許用戶在數據記錄后重新尋找聚焦像面,而無需再調整樣品實際高度。

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