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NSC36/Al BS
輕敲模式/非接觸模式用探針，每個基片有三個長方形懸臂，共振頻率分別為105、155和75kHz，彈性系數分別為0.95、1.75和0.6N/m，針尖曲率半徑<10nm，背面鍍鋁反射層。
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